
超純銅製品
最高純度の銅が必要なあらゆる用途へ
すべては高純度銅から
わずかな不純物でも、求める数値結果に著しい悪影響が生じる可能性があるため、当社は原材料の高純度化には決して妥協しません。当社の完成品および加工品は、すべて最高純度の銅から作られています。
当社は、最高品質の電気銅のみを原料とし、独自技術による無酸素銅を製造しています。この垂直統合モデルにより、原料と製品の品質・供給が完全に制御されています。
使用される無酸素銅及び銅合金:
- 99.9995%(5N5)
- OFE-OK®(4N5)99.995%(5N)
- 99.9995%(4N5)
- その他無酸素銅や銅合金(含リン銅など)
スパッタリングターゲット
Luvata(ルバタ)グループは、長年お客様と一緒に意欲的なスパッタリングターゲットやターゲット用地板を開発してきました。製品は非常に均質な構造を持つ高品質の銅をベースにしています。
アノード
Luvata(ルバタ)グループは、半導体製造の最先端の電気化学蒸着(ECD)向けに最良の銅アノードを提供します。同製品はハイエンド企業と一緒に数十年に渡って開発されてきました。
本製品は、クリーンルームに直接入れる精密機械加工製品にすることも、お客様自身の製造用の加工品にすることもできます。
ペレット
Luvata(ルバタ)グループは、物理蒸着(PVD)と電気化学蒸着(ECD)用の高純度銅ペレットの精製と製造を専門としています。
本製品は非常に小さなペレットから、より大きいボールや粒まで、お客様の仕様に応じています。純度レンジは4N5 - 6N (99.995% - 99.9999%)です。また、CuP(含リン銅)やCuIn(インジウム銅)のような特殊合金もご利用いただけます。
部品
Luvata(ルバタ)グループは、高品質の銅が不可欠なあらゆる用途向けの加工品のトップメーカーです。当社は、板(バー)、シート、管、機械加工部品などを含むすべての形状とサイズで、お客様専用の加工品を生産することができます。また、すべての高純度銅等級のインゴットを供給することができます。
Luvata(ルバタ)グループは極低温用途向けの銅グレードを開発しました。最も売れている合金はOFE-Cryogenicです。RRR(残留抵抗比)は250~450です。超高純度銅(Cu99.999~99.9999%)を使用することで、さらに高いRRR値を得ることができます。その場合のRRR値は800〜2000となります。